Đại lý Brooks Instrument Vietnam,Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt chịu được nhiệt độ cao 5850EMH Brooks Instrument Vietnam

 

Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt chịu được nhiệt độ cao​

Dùng cho ứng dung dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất và nhiệt độ cao.

Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng đắt tiền . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại- chịu nhiệt độ cao. Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.

Ứng dụng chính:

  • Sản xuất sợi quang cho lưu lượng kế nhiệt độ cao - MCVD
  • Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon
  • CVD (phân phối tiền chất ở dạng hơi)
  • Dải (hơi nước)
  • Etch (hơi nước để thụ động))

Đặc tính chính

  • Nhiệt độ hoạt động cao nhất (1500C)
  • Độ chính xác cao - SP ± 1% và độ lặp lại
  • Kết cấu siêu tinh khiết

THÔNG TIN SẢN PHẨM :

Dòng sản phẩm

5850EMH

9861

5850EMH / 5851EMH

C9861/ M9681

Loại sản phẩm

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng

Sự khác biệt

Phạm vi dòng chảy cao nhất

Công nghệ đáng tin cậy đã được kiểm chứng

Độ chính xác dòng chảy cao nhất

Nhiệt độ hoạt động cao nhất

Giao tiếp truyền thông kỹ thuật số

Thang đo (Mức tối đa)

100 slm (tương đương N2)

100 slm (tương đương N2)

Chất liệu bên ngoài

Kim Loại

Kim Loại

Mức độ tinh khiết / hoàn thiện bề mặt

4 μ inch Ra

Độ chính xác

1% of FS

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

Độ lăp lại

<±0.25% SP

<±0.15% FS

Thời gian phản hồi

<3 giây đến trong vòng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)

<1 giây đến trong khoảng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)

Áp lực tối đa

1 MPa (145 psi)

620 kPa (90 psi)

Nhiệt độ tối đa

105oC

150oC

Khả năng chuẩn đoán

Liên kết chuẩn đoán

0-5 Vdc

0-5 Vdc

Liên kết kỹ thuật số

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

 

5850EMH Series

5850EMH Series

9861 Series

9861 Series

ANS là đại lý chính thức Brooks Instrument Viet Nam cung cấp giải pháp đo lưu lượng, áp suất, hóa hơi Brooks Instrument tại Việt Nam